Die EUV-Technologie ist noch unausgereift, Intel und Samsung stoßen bei 7 nm auf Hindernisse
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Obwohl der Prozessfanatiker TSMC immer wieder von 7 nm/5 nm/3 nm spricht, besteht ein realistisches Problem darin, dass die Schlüsseltechnologie bzw. -ausrüstung zur Herstellung von Chips unter 10 nm, nämlich EUV-Lithografiemaschinen (Extrem-Ultraviolett-Lithografie), immer noch mit vielen kommerziellen Herausforderungen konfrontiert ist. Auf der Jahrestagung der Society for Optoelectronics Engineering (SPIE), die gestern in Kalifornien stattfand, räumten Experten von Samsung und Intel die Schwierigkeiten bei der Weiterentwicklung von EUV ein. Samsung gab an, Ende letzten Jahres seine erste EUV-Maske mit sehr wenigen Mängeln hergestellt zu haben. Intel begann 1992 mit der Entwicklung der EUV-Technologie und lieferte Ende letzten Jahres seine erste EUV-Maske in kommerzieller Qualität an Waferfabriken aus. Derzeit ist es an der Herstellung fehlerfreier 14-, 10- und 7-nm-EUV-Kabel beteiligt . Von den acht bestehenden EUV-Kernprogrammen sind sechs fertig oder werden bald fertig sein. Britt Turkot, Leiter des EUV-Programms von Intel, merkte an, dass sich Pellikel zum Abdecken von EUV-Wafern noch in der Entwicklung befinden und neue Werkzeuge zur Inspektion von EUV-Masken noch validiert werden. Samsung erklärte jedoch, dass man weiterhin davon überzeugt sei, dass EUV in seinem 7-nm-Prozessknoten verwendet werden könne. Intel vertritt die gleiche Ansicht, sagte jedoch, man müsse mit der Einführung warten, bis die Technologie vollständig ausgereift sei. Derzeit verfügt das niederländische Unternehmen ASML über einen Anteil von 80 % an den hochwertigsten Immersionslithografiemaschinen. Von allen 14 EUV-Systemen (insgesamt 6) ist die NXE 3350B das absolute Herzstück. Ihr Stückpreis beträgt bis zu 600 Millionen Yuan, was dem Preis eines F35-Kampfjets entspricht . Intel ist der erfahrenste Benutzer des 3350B, aber Britt Turkot, ein Experte im EUV-Team, sagte, dass, obwohl seine Betriebszeit 75 % übersteigt, im laufenden Betrieb nach und nach Maskenprobleme auftreten würden. Als Gewinner des Qingyun-Plans von Toutiao und des Bai+-Plans von Baijiahao, des Baidu-Digitalautors des Jahres 2019, des beliebtesten Autors von Baijiahao im Technologiebereich, des Sogou-Autors für Technologie und Kultur 2019 und des einflussreichsten Schöpfers des Baijiahao-Vierteljahrs 2021 hat er viele Auszeichnungen gewonnen, darunter den Sohu Best Industry Media Person 2013, den dritten Platz beim China New Media Entrepreneurship Competition Beijing 2015, den Guangmang Experience Award 2015, den dritten Platz im Finale des China New Media Entrepreneurship Competition 2015 und den Baidu Dynamic Annual Powerful Celebrity 2018. |
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